Vakumlu buhar birikimi fırını
Vakum Buhar Depozisyon Fırını CVD Fırını (SiC BN) Vakum Fırını Kimyasal Buhar Depozisyon Fırını
Ana özellikleri:
Buhar birikimi fırının kullanımı: Bu kimyasal buhar birikimi grafitleştirme entegre fırını, UND drocarbon gazı (C3H8 gibi) ile bileşik malzemelerin kimyasal buhar birikimi için kullanılabilir,CVD, C / C kompozit malzemelerinin CVI tedavisi, SiC kompozit malzemelerinin, grafit parçalarının yüzey karbonlaştırma tedavisi ve grafen üretimi gibi karbon kaynağı olarak.
Buhar birikimi fırınının amacı:
Bu kimyasal buhar birikimi grafitleştirme entegre fırını, karbon kaynağı olarak UND drocarbon gazı (C3H8 gibi) ile bileşik malzemelerin kimyasal buhar birikimi için kullanılabilir.CVD gibi, C / C kompozite malzemelerinin CVI işleme, SiC kompozite malzemelerinin, grafit parçalarının yüzey karbonizasyon işleme ve grafen üretimi.
Buhar çökme fırının özellikleri:
Çok fonksiyonel yüksek sıcaklık tasarımı, kimyasal buhar çöküntüsünü ve grafitleştirme işlemini aynı anda gerçekleştirebilir.
Çalışma sıcaklığı 2600'e kadar yüksektir ve uzun süre istikrarlı ve güvenilir bir şekilde çalışabilir.
Sıcaklık ölçümü otomatik dönüşüm sistemi, termokopüler ve kızılötesi termometrelerle birlikte tüm sıcaklık aralığının görüntülenmesini ve kontrolünü gerçekleştirebilir.
Ana güç cihazı olarak IGBT kullanan indüksiyon ısıtma frekans dönüşüm kontrol sistemi, ekipmanları enerji tasarrufu ve güç tasarrufu yapar.küçük harmonik bileşenlerle ve dış ekipmanlara müdahale etmeyen.
Giriş ve çıkış gazının hassas akış gösterimi ve kontrolü ürünün istikrarını sağlar.
İyi bir mühürleme etkisi ve güçlü kirliliğe karşı yeteneği olan özel yapı çökme odası kullanılır
Çok kanallı çökme gaz yolu kullanılır, akış alanı tekdüze, çökme ölü köşesi yoktur ve çökme etkisi iyidir;
Özel filtreleme sistemi, karbon çökme işlemi sırasında üretilen katranı, katı tozları, organik gazları vb. etkili bir şekilde tedavi edebilir.
Buhar çökme fırının teknik parametreleri: