| Çalışma alanı boyutu (D*H mm) | Φ200*300 | Φ300*600 | Φ400*900 |
|---|---|---|---|
| En son vakum (Pa) | 1*10- 4 1*10-3 |
1*10- 4 1*10-3 |
1*10- 4 1*10-3 |
| Maksimum sıcaklık (°C) | 2400 2500 |
2400 2500 |
2400 2500 |
| Sıcaklık Tekdüzeliği (°C) | ±7.5 | ±7.5 | ±10 |
| Basınç artış hızı (Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 |