| Çalışma alanı boyutu (Dayımetre * Yükseklik mm) | Φ200*300 | Φ300*600 | Φ400*900 |
|---|---|---|---|
| Son vakum (Pa) | 1*10- 41 çarpı 10.-3 | 1*10- 41 çarpı 10.-3 | 1*10- 41 çarpı 10.-3 |
| En yüksek sıcaklık (°C) | 2400. | 2400. | 2400. |
| Sıcaklık eşitliği (°C) | ±7.5 | ±7.5 | ±7.5 ±10 |
| Basınç artış hızı (Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 |