| Çalışma Alanı Boyutu (D*Y mm) | Φ200*300 | Φ300*600 | Φ400*900 |
|---|---|---|---|
| Nihai Vakum (Pa) | 1*10-4 / 1*10-3 | 1*10-4 / 1*10-3 | 1*10-4 / 1*10-3 |
| Maksimum Sıcaklık (℃) | 2400 / 2500 | 2400 / 2500 | 2400 / 2500 |
| Sıcaklık Düzgünlüğü (℃) | ±7.5 | ±7.5 | ±10 |
| Basınç Artış Hızı (Pa/sa) | 0.67 | 0.67 | 0.67 |